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全自动SiC晶圆开槽机
"全自动SiC晶圆开槽机"标讯
中标
复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所电子束蒸镀机等仪器设备采购项目合同公告
金额
275万元
项目地址
浙江省
发布时间
2024/01/05
招标产品
全自动晶圆改质切割机
仪器设备
全自动SiC晶圆开槽机
全自动SiC晶圆裂片机
划片机组设备
电子束蒸镀机
招标公司
复旦大学宁波研究院
中标公司
深圳市大族半导体装备科技有限公司
中标
复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所电子束蒸镀机等仪器设备采购项目中标公告
项目地址
浙江省
发布时间
2023/12/18
招标产品
仪器设备
划片机组
应力检测设备
全自动SiC晶圆开槽机
全自动SiC晶圆裂片机
氢气纯化器
颗粒测试仪
聚酰亚胺烘烤
晶圆改质切割机
氮气纯化器
电子束蒸镀机
电子束镀膜机
氧气纯化器
揭膜机
招标公司
复旦大学宁波研究院
中标公司
上海先普气体技术有限公司
共4家
中标
复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所电子束蒸镀机等仪器设备采购项目中标公告
项目地址
浙江省
发布时间
2023/12/18
招标产品
全自动晶圆改质切割机
仪器设备
划片机组
全自动SiC晶圆开槽机
应力检测设备
氢气纯化器
颗粒测试仪
聚酰亚胺烘烤
氮气纯化器
电子束蒸镀机
电子束镀膜机
氧气纯化器
裂片机
揭膜机
招标公司
复旦大学宁波研究院
中标公司
清软微视（杭州）科技有限公司
共4家
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