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四管卧式LPCVD
"四管卧式LPCVD"标讯
招标
华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（四）(项目编号：0835-220Z11909601)招标公告
项目地址
广东省
发布时间
2022/11/28
招标产品
微纳电子加工平台制备
无掩模激光直写光刻机
四管卧式LPCVD系统
离子注入机
电子束光刻系统
步进式光刻机
LPCVD介质材料生长
半导体参数分析系统
整体设计
规范编制
项目管理
监理
检测
招标公司
华南理工大学
招标
华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（四）(项目编号：0835-220Z11909631)招标公告
项目地址
广东省
发布时间
2022/11/28
招标产品
半导体参数分析系统
无掩模激光直写光刻机
LPCVD介质材料生长
规范编制
监理
整体设计
微纳电子加工平台制备
步进式光刻机
项目管理
离子注入机
检测
电子束光刻系统
四管卧式LPCVD系统
招标公司
华南理工大学
中标
深圳清华大学研究院纳米图形阵列光刻机、VHF气相腐蚀机、显微扫描式激光测振仪、手动晶圆电镀机、四管卧式LPCVD更正公告（C包、E包）
金额
764.00元
项目地址
广东省
发布时间
2020/09/27
招标产品
纳米图形阵列光刻机
四管卧式LPCVD
手动晶圆电镀机
VHF气相腐蚀机
显微扫描式激光测振仪
招标公司
深圳清华大学研究院
中标公司
广州市诚屹进出口有限公司
共4家
中标
纳米图形阵列光刻机 、VHF气相腐蚀机、显微扫描式激光测振仪、手动晶圆电镀机、四管卧式LPCVD中标（成交）结果公示
金额
945.00元
项目地址
广东省
发布时间
2020/09/25
招标产品
纳米图形阵列光刻机
四管卧式LPCVD
手动晶圆电镀机
VHF气相腐蚀机
显微扫描式激光测振仪
招标公司
深圳清华大学研究院
中标公司
苏州圣澳源环保科技有限公司
共15家
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