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工程维护界面模块
"工程维护界面模块"标讯
中标
纳米科学与应用研究院宋爱民课题组申请采购反应离子刻蚀机一台成交公告
金额
46.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2024/10/28
招标产品
腔室测下方抽气的方式
工程维护界面模块
支持多步刻蚀
工艺气体
水冷系统
一路N2吹扫气体
工艺射频电源
工艺菜单编辑功能
机台异常处理功能
工艺腔顶部进气
日志管理功能
动作互锁功能
真空系统
分子泵组
单次刻蚀
反应离子刻蚀机
全自动控制流程
控制软件
基片散热
招标公司
南方科技大学
中标公司
北京拙明科技有限公司
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