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工艺菜单编辑功能
"工艺菜单编辑功能"标讯
中标
纳米科学与应用研究院宋爱民课题组申请采购反应离子刻蚀机一台成交公告
金额
46.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2024/10/28
招标产品
腔室测下方抽气的方式
工程维护界面模块
支持多步刻蚀
工艺气体
水冷系统
一路N2吹扫气体
工艺射频电源
工艺菜单编辑功能
机台异常处理功能
工艺腔顶部进气
日志管理功能
动作互锁功能
真空系统
分子泵组
单次刻蚀
反应离子刻蚀机
全自动控制流程
控制软件
基片散热
招标公司
南方科技大学
中标公司
北京拙明科技有限公司
招标
西南大学教学实验及实训基地设备更新项目-物理学专业实验平台建设-西南大学-竞价公告(CM106352024000087)
金额
56万元
项目地址
重庆市
发布时间
2024/10/01
招标产品
多靶轮流溅射
微电脑PLC控制
配套控制软件
溅射沉积室
实验平台建设
磁控溅射靶组件
水箱蒸发器
恢复真空
数字温控仪
大容量菜单存储空间
不锈钢水排
阀门气路单元
样品托
共溅射
磁控靶
物联网
水路系统
精密数显温度控制器
直流溅射电源
备品备件
工业冷水机
工艺气路
连接管道
法兰
二维码服务系统
样品台
真空室
全功能防错操作系统
基片托
工艺菜单编辑功能
射频电源
PVD薄膜沉积系统
真空系统
招标公司
西南大学
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