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自动调焦调平
"自动调焦调平"标讯
招标
东南大学微纳平台步进式光刻机采购项目公开招标公告
项目地址
江苏省
发布时间
2023/12/13
招标产品
步进式光刻机
微纳平台
照明系统
自动对准系统
晶圆自动传输系统
掩模
步进对准
版库管理系统
晶圆承载台
调平系统
自动光量控制
自动调焦调平
压力控制
气体过滤系统
减震系统
自动软件
自动匀胶显影系统
匀胶单元
显影单元
HMDS热板
高温热板
低温热板
冷板
招标公司
东南大学
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