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HMDS热板
"HMDS热板"标讯
招标
无锡国际微纳平台步进式光刻机采购(第二次)（SEU-ZB-230697(第二次)）采购公告
金额
3500万元
项目地址
江苏省
发布时间
2024/02/02
招标产品
高温热板
显影单元
设备安装调试
微纳平台步进式光刻机
HMDS热板
匀胶单元
低温热板
冷板
显影系统
招标公司
东南大学
招标
东南大学微纳平台步进式光刻机采购项目公开招标公告
项目地址
江苏省
发布时间
2023/12/13
招标产品
步进式光刻机
微纳平台
照明系统
自动对准系统
晶圆自动传输系统
掩模
步进对准
版库管理系统
晶圆承载台
调平系统
自动光量控制
自动调焦调平
压力控制
气体过滤系统
减震系统
自动软件
自动匀胶显影系统
匀胶单元
显影单元
HMDS热板
高温热板
低温热板
冷板
招标公司
东南大学
中标
杭州极弱磁场国家重大科技基础设施研究院HMDS热板采购结果公告
金额
30.4万元
项目地址
浙江省
发布时间
2023/11/27
招标产品
HMDS热板
招标公司
杭州极弱磁场国家重大科技基础设施研究院
中标公司
微纳科仪（北京）科技有限公司
招标
关于匀胶显影及HMDS热板系统的允许采购进口产品论证公示[杭州极弱磁场国家重大科技基础设施研究院]
金额
120万元
项目地址
浙江省
发布时间
2023/11/13
招标产品
HMDS热板系统
显影系统
匀胶机
匀胶显影
招标公司
杭州极弱磁场国家重大科技基础设施研究院
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