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450腔体
"450腔体"标讯
招标
SG2023001531001高真空磁控溅射薄膜沉积系统采购需求
金额
45万元
项目地址
四川省
发布时间
2023/04/11
招标产品
高真空磁控溅射薄膜沉积系统
溅射靶位
450腔体
工作气路
安装机台
电控系统
溅射室
金刚石膜
预真空室
溅射真空室
真空测量
磁控溅射靶
旋转加热基片台
抽气系统
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