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LOAD-LOCK室系统
"LOAD-LOCK室系统"标讯
招标
真空金属溅射镀膜系统（GY202405979）采购公告
金额
49.5万元
项目地址
山东省
发布时间
2024/11/27
招标产品
真空金属溅射镀膜系统
强磁靶
靶位
超高真空电动调节阀
射频靶
真空薄膜溅射镀膜系统
真空测量系统
真空溅射室系统
靶挡板
工艺气体
磁控靶
高精度机械手
LOAD-LOCK室系统
上位机
真空获得系统
镀膜室
偏压电源
偏压辅助沉积
恒压控制系统
样品及工件盘系统
安全报警系统
直流靶
招标公司
新一代半导体材料研究院
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