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SICN
"SICN"标讯
招标
东南大学集成电路学院12寸等离子增强气相沉积采购项目公开招标公告
项目地址
江苏省
发布时间
2024/12/03
招标产品
12寸等离子增强气相沉积
三个PM可分别实现化学组分为SICOH
SICN
液态前驱体输送系统
SIO薄膜
SICOH薄膜沉积
招标公司
东南大学
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