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SIO薄膜
"SIO薄膜"标讯
招标
东南大学集成电路学院12寸等离子增强气相沉积采购项目招标公告
金额
1650万元
项目地址
江苏省
发布时间
2024/12/03
招标产品
设备安装调试
真空控制系统
进出气系统
三个PM可分别实现化学组分为SICOH
射频电源
12寸晶圆
真空泵系统
工艺腔体
12寸等离子增强气相沉积
液态前驱体输送系统
SIO薄膜
SICOH薄膜沉积
招标公司
东南大学
招标
东南大学集成电路学院12寸等离子增强气相沉积采购项目公开招标公告
项目地址
江苏省
发布时间
2024/12/03
招标产品
12寸等离子增强气相沉积
三个PM可分别实现化学组分为SICOH
SICN
液态前驱体输送系统
SIO薄膜
SICOH薄膜沉积
招标公司
东南大学
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