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热唇蒸发源
"热唇蒸发源"标讯
招标
超高真空氮化物分子束外延生长系统采购意向公告
金额
300万元
发布时间
2024/07/08
招标产品
电子放大器模块
高通量射频等离子源
自动生长控制
衬底可连续旋转
图形化软件控制系统
衬底托盘
衬底挡板
不间断数据记录
生长控制系统
CCD相机
离子泵
系统最大可外延单片3英寸衬底
PID控温
RGA
抽气
远程控制模块
生长工艺程序编写
衬底加热器
分子泵
传样闸板阀
增强皮拉尼真空计
PC及硬件
传样观察视窗
液氮冷屏
蒸发源观察视窗
超高真空氮化物分子束外延生长系统
安装RHEED
生长腔
衬底加热台
直流电源
进样腔
冷凝泵
水平传样杆
可加热最大3英寸衬底
束流规
热唇蒸发源
图像分析软件
预处理腔
热偶
电离真空规
冷唇蒸发源
红外烘烤灯
前级泵
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