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衬底托盘
"衬底托盘"标讯
招标
超高真空氮化物分子束外延生长系统采购意向公告
金额
300万元
发布时间
2024/07/08
招标产品
电子放大器模块
高通量射频等离子源
自动生长控制
衬底可连续旋转
图形化软件控制系统
衬底托盘
衬底挡板
不间断数据记录
生长控制系统
CCD相机
离子泵
系统最大可外延单片3英寸衬底
PID控温
RGA
抽气
远程控制模块
生长工艺程序编写
衬底加热器
分子泵
传样闸板阀
增强皮拉尼真空计
PC及硬件
传样观察视窗
液氮冷屏
蒸发源观察视窗
超高真空氮化物分子束外延生长系统
安装RHEED
生长腔
衬底加热台
直流电源
进样腔
冷凝泵
水平传样杆
可加热最大3英寸衬底
束流规
热唇蒸发源
图像分析软件
预处理腔
热偶
电离真空规
冷唇蒸发源
红外烘烤灯
前级泵
中标
天津理工大学DE500超高真空磁控溅射系统维修单一来源公示
项目地址
天津市
发布时间
2022/12/20
招标产品
溅射靶位
磁控溅射系统
系统维修
真空泵
磁控溅射电源
衬底托盘
真空腔体
招标公司
天津理工大学
中标公司
北京德仪天力科技发展有限公司
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