金额
19.8万元
发布时间
2023/11/24
招标产品
载气辅助源
机械泵
腔体密封圈
前驱体输送管路
备用配件
反应腔系统
加热源管路
真空测量
惰性气体自清洗系统
氧化铝薄膜
售后服务与质保
原子层沉积设备
前驱体标签修改
三甲基铝+水
备品备件
真空泵
控制系统
垫片
源手动阀
所有管线
前驱体输送系统
真空抽气管道
所有ALD阀门
常温液源管路
热阱
载气管路
管路及接头
操作说明书
真空系统
服务电话及培训
载气脉冲ALD阀门
项目地址
北京市
发布时间
2023/11/04
招标产品
相关安装指导
试验台架配套装置
真空泵
设冷水装置
储水注水净化与泄放系统
非能动余热模拟热阱装置
氮气组
招标公司
金额
28万元
发布时间
2023/09/22
招标产品
化学品
反应模块
低温气液分离去
进料模块
反应器
高温气液分离器
热阱
导热油夹套内循环
还原气
冷凝器
混合器
制冷加热动态控温系统
质量流量计
催化剂
导热油槽
反应管
原料气
预热炉
固定床装置
冷阱
招标公司
中标公司
项目地址
江苏省
发布时间
2023/09/01
招标产品
反应炉控温
反应管
可变径连续固定床装置
反应器
热阱
流量计
汽提氢化耦合反应装置
预加热炉
鼓泡器连续通气鼓泡装置
控温热电偶
催化剂
温控
一路液体进料
压力
冷阱
招标公司
金额
41万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/04/17
招标产品
固态继电器
加热箱
臭氧系统
仪器设备
氧气
SSD固态硬盘
不锈钢源瓶
计量调压阀
高真空压力计
Thermal-ALD
进口阀门
载气
加热源
气动阀门
输入设备
热阱加热器
PLC
反应物管路
臭氧发生器
界面操作系统
真空测量
PEALD
反应腔体
质量流量控制器
鼠标
原子层沉积ALD
腔体具备快速开关真空隔离装置
单晶硅片
键盘
真空泵
控制系统
大气真空压力计
惰性气体
前驱体源管路
真空腔体
工控机
触摸显示器
反应物H2O
臭氧尾气处理器
定期巡检
样品台
反应残余气
阀门配备电磁阀
前驱体源气路
吹扫
管路及接头
招标公司
项目地址
山东省
发布时间
2023/01/12
招标产品
配套设施
柴汽油加氢
MTBE装置
工艺包
采暖伴热
柴油加氢改质
热源
煤炭锅炉
除氧水系统
余热综合利用
催化装置
连续重整
重交沥青装置
芳烃抽提联合装置
制定项目建议书
低温热系统
梳理全厂未利用工艺介质余热
循环水余热
气体分馏装置
锅炉烟气余热
延迟焦化装置
热阱
制冷
硫磺回收装置
招标公司
金额
126.75万元
项目地址
天津市
发布时间
2022/12/26
招标产品
真空抽取
等离子体工艺气体
臭氧O3
技术服务
臭氧系统
加热系统
环境标志产品
仪器设备操作
不锈钢源瓶
微调阀
技术配置
仪器及主要附件的详细操作
导入导出
原子层沉积系统
存储
可单独加热
盖板开关
读写数据库
毁灭器
技术培训
载气
N2气路接口
仪器使用软件
历史数据
设备安装
安全防护系统
高温阀门
加热保温系统
技术文件
氧气流量
流量计
报警
CDA
验收
臭氧发生器
真空薄膜规
机械加工
反应物气路
加热装置
技术原理
升温
高精度测量
工艺气体管路
等离子体源
可加热源
反应物供给系统
腔体四周及上下盖板具备加热保温功能
H2O管路
吹扫N2
基于Windows7操作系统
数据处理
仪器设备基本维护
自动开关腔门设计
管路直角接头
隔热材料
真空泵
独立的手动操作页面
反应腔
每路源均配备进口快速专用阀门
软硬件
降温
手动阀
远程等离子体系统
高温模块
前驱体源管路
尾气处理
前驱体源瓶
前驱体供给
独立阀门进行流量控制
金VCR密封
隔热处理
安装手册
工艺配方
热阱系统
触摸屏人机界面
射频电源
显示屏
大气压
硬件互锁
安装调试
支持手动开关阀门的操作
自动匹配器
材料沉积
射频产生器
招标公司
中标公司
金额
749万元
项目地址
北京市
发布时间
2022/12/17
招标产品
高效过滤网
硅晶圆
中央真空传输系统
热蒸发系统
机械泵
规范编制
可装载4片4英寸及以下尺寸器件
特气接口
不锈钢源瓶
中央传输系统
保险
原子层沉积系统
喷镀源路
1路直通源
物理气相沉积系统
检测
4英寸晶圆
内置氧气源臭氧发生器
喷镀MAPbI3
标配两套内腔
节能产品
工艺干泵
监理
预真空腔室
高性能真空系统
太阳能电池
臭氧发生器
在线清洗功能
配置高温快速隔膜阀
非金属源
压力传感器
配置热阱
真空喷镀系统
特气源
运输
吸附反应外延系统
碘甲胺
保护真空计
真空泵
真空加热腔
配置快速隔膜阀
整体设计
两路载气系统
手动阀
鼓泡前驱体源
直通液态源
反应腔室系统
液态前驱体源系统
磁控溅射系统控制系统
非工艺真空测量
吸附反应外延腔室
集束型薄膜沉积系统
高保型率介电封装材料制备系统
项目管理
本底分子泵
整体辐射加热装置
快速高温辐射加热装置
气动隔膜阀
前级泵
招标公司
中标公司
项目地址
北京市
发布时间
2022/04/27
招标产品
空冷热阱系统主设备
招标公司
中标公司
金额
226万元
项目地址
北京市
发布时间
2022/04/22
招标产品
主热力循环空冷热阱系统
主热力循环空冷热阱系统主设备
招标公司
中标公司
金额
226万元
项目地址
北京市
发布时间
2022/04/22
招标产品
系统
主设备
招标公司
中标公司
金额
86.4万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/01/18
招标产品
VI传感器
质量流量控制器
原子层沉积设备
反应残余气
热阱加热器
单晶硅片
独立的工艺部门
可自动进行阻抗匹配
检测射频功率输出端参数功能
Al2O3工艺配方
破片加工
驱动器
等离子体工艺启辉窗口
前驱体源管路
进口阀门
自动匹配器
气体管路
步进马达
招标公司
中标公司
金额
18万元
项目地址
山东省
发布时间
2019/09/05
招标产品
进口压力传感器
热型反应腔
源瓶
弹性工艺配方
自动清洗
工艺气体流量
原子层沉积系统
腔体密封圈
电气控制系统
腔体自动抽气阀门
暴露模式
控制软件
备用配件
触摸屏
自动充气
维修手册
反应腔系统
软件终身免费升级
系统压力曲线
前驱体源主管路
使用手册
镍铜等部分金属薄膜
气体进气阀门开关
加热源管路
自动排空
温度传感器
高纵深比结构镀膜
惰性气体自清洗系统
标准工艺手册
前驱体管路
氧化铝薄膜
工艺气体管路
前驱体源主输送主管路
原子层沉积设备
机械泵抽真空
真空计保护阀门
垫片
可拆卸加热套
沉积单一薄膜
bubbler载气
三甲基铝
常温源装置及管路
加热源装置及管路
常温液源管路
等离子体系统升级
热阱
前驱体源接口
连续流动的快速沉积
真空系统
前驱体源输送系统
固态加热源装置
多元化合物精确比例掺杂沉积
说明书
载气管路采用N2或者Ar气体
招标公司
中标公司
解决方案
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