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分子泵电源参数显示及开关控制
"分子泵电源参数显示及开关控制"标讯
招标
工科物理实验建设(六期)-磁控溅射系统(JJ24000088)采购公告
金额
24.4万元
发布时间
2024/03/20
招标产品
机械泵
基片台转速控制
控制单元
工艺气路质量流量计控制器
主抽泵
磁控溅射靶
旁抽
真空室解除
水箱蒸发器
超高真空电动闸板阀
数字温控仪
质量流量控制器参数显示及控制
样品托
分子泵电源参数显示及开关控制
真空测量
前级阀门
直流溅射电源
精密数显温度控制器
溅射腔体
电磁压差式充气阀
基片加热温度控制
工业冷水机
真空计
主抽阀
接口法兰
抽气系统
总供电
磁控溅射系统
样品台
全功能防错操作系统
电磁截止阀
真空充气
射频电源
真空系统
放气阀
观察窗
前级泵
招标公司
东北大学
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