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前级阀门
"前级阀门"标讯
招标
工科物理实验建设(六期)-磁控溅射系统（JJ24000088）采购公告
金额
24.4万元
发布时间
2024/03/20
招标产品
机械泵
基片台转速控制
控制单元
工艺气路质量流量计控制器
主抽泵
磁控溅射靶
旁抽
真空室解除
水箱蒸发器
超高真空电动闸板阀
数字温控仪
质量流量控制器参数显示及控制
样品托
分子泵电源参数显示及开关控制
真空测量
前级阀门
直流溅射电源
精密数显温度控制器
溅射腔体
电磁压差式充气阀
基片加热温度控制
工业冷水机
真空计
主抽阀
接口法兰
抽气系统
总供电
磁控溅射系统
样品台
全功能防错操作系统
电磁截止阀
真空充气
射频电源
真空系统
放气阀
观察窗
前级泵
招标公司
东北大学
中标
云南大学-结果公告(CB106732022000012)
金额
2.25万元
项目地址
云南省
发布时间
2022/04/13
招标产品
涡轮分子泵
机械泵
分子泵系统
电器控制柜
掩膜板库
样品架
环境获得系统
环境获得与测量系统
观察窗
碳钢工作台
水冷系统
光学测试设备
掩膜版库
气动截止阀
样品托
光电器件制备设备
电磁压差阀
极限真空
液压波纹管路
蒸发电极
光功率测试系统
CF35气动角阀
蒸发室
电控系统
真空获得系统
PLC+触摸屏
CDA系统
系统保压系统
膜厚仪
蒸发台
数显复合真空计
手动放气阀
手动观察窗挡板
分子泵电源
真空室
模板库
膜厚测量与控制系统
蒸发源电动挡板
有机源
前级阀门三通组件
招标公司
云南大学
中标公司
沈阳奇汇真空技术有限公司
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