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普磁靶
"普磁靶"标讯
中标
大额自行采购结果公示-202412170014
金额
24.5万元
项目地址
四川省
发布时间
2024/12/18
招标产品
基片架
氧气
样品盘
靶材
金属防污挡板
气动插板阀
保压
腔体极限真空
普磁靶
安全互锁功能
充氮气保护
多层膜
双靶磁控溅射镀膜装置
金属膜
3路MFC控制器
主泵
维护检修
分子泵
抽气控制
腔室
底盘
真空泵
真空计
磁控溅射镀膜系统
真空腔体
氩气
硬质膜
机械旋转手臂
强磁
旁抽系统
直流电源
自动化控制软件
溅射源
真空室
射频电源
磁控溅射镀膜机
安装调试
真空系统
前级管路
半导体膜
光学膜
硬件
前级泵
中标公司
苏州光拓科技有限公司
中标
[GY202108794]高真空薄膜生长系统
金额
32万元
发布时间
2021/12/06
招标产品
配气系统
样品台接口
强磁靶
KF40三通
高真空薄膜生长系统
总控制电源
普磁靶
复合真空计
M16地脚
样品托架
KF16高真空气动挡板阀
80铝型材机架
样品台加热电源
200ml/s质量流量控制器
磁控靶电源
真空室腔体
气动挡板接口
薄膜规
电控系统
移动调整
3英寸万向轮
KF40泵阀连接软管
8L/S旋片泵
设备机架
磁控靶挡板电源
1200L/S水冷脂润滑分子泵
磁控靶接口
直流电源
样品台以及其挡板控制电源
磁控溅射系统
烘烤照明电源
射频电源
CF200高真空电动插板阀
永磁靶
KF40高真空气动挡板阀
招标公司
物理学院
中标公司
北京安泰可科技有限公司
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