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机械旋转手臂
"机械旋转手臂"标讯
中标
大额自行采购结果公示-202412170014
金额
24.5万元
项目地址
四川省
发布时间
2024/12/18
招标产品
基片架
氧气
样品盘
靶材
金属防污挡板
气动插板阀
保压
腔体极限真空
普磁靶
安全互锁功能
充氮气保护
多层膜
双靶磁控溅射镀膜装置
金属膜
3路MFC控制器
主泵
维护检修
分子泵
抽气控制
腔室
底盘
真空泵
真空计
磁控溅射镀膜系统
真空腔体
氩气
硬质膜
机械旋转手臂
强磁
旁抽系统
直流电源
自动化控制软件
溅射源
真空室
射频电源
磁控溅射镀膜机
安装调试
真空系统
前级管路
半导体膜
光学膜
硬件
前级泵
中标公司
苏州光拓科技有限公司
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