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2023/09/05
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全自动薄膜沉积系统溅射真空室磁控溅射靶自转基片台加热系统数字式恒流直流电源500w射频电源工作气路真空获得系统安装机台真空测量水冷却报警系统连锁控制系统金属薄膜半导体膜单腔体沉积室磁控靶接管组件脂润滑复合分子泵机械泵500W直流溅射电源不均匀度真空计电动插板阀控制平台PLC编译控制软件不锈钢腔室腔体防污内衬观察窗法兰玻璃防污腔室照明旋转基片旋转步进电机陶封电极旁抽阀气动截止阀电磁充气阀电磁截止阀真空抽气管道不锈钢三通波纹管永磁靶靶的挡板质量流量控制器总控制电源电磁阀水压报警照明烘烤基片旋转基体加热水管变通接嘴不锈钢球阀气路卡套管接头配套合理管路气体管道金属管安装机架靶材测试金属密封连接件及其附件氟胶圈密封氟橡胶密封圈无氧铜垫圈
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2023/04/17
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尾气吹扫功能铠装加热器衬底加热各路气动截止阀的开关机组抽气涡轮分子泵机械泵RF射频电源真空腔室基片电极三相控制电源氦质谱检漏仪8路气路样品架反应室压力控制VCR垫片尾气吹扫气路CF35接管法兰RF射频功率电源SRS13表控温加热进样室PECVD系统CF35电离规接管法兰1/4inch不锈钢管系统自动控制各路质量流量计进气MKSRF电源样品机架PECVD450型旁路抽气基片加热温度真空系统抽气PECVD室电极VCR管接头质量流量控制器加热样品压力控制系统气路进气控制各旁抽角阀的开启与关闭控温表K偶反馈测温RF喷淋电极总控电源控制蝶阀进气系统基片表面沉积形成均匀的固体薄膜两套机组控制电源各台气动闸板阀的开启与关闭陶封四芯引线电极热偶规接管法兰卤钨灯温度控制系统泵抽系统样品台水冷胶圈密封观察窗反应气体抽出泵PECVD室控制样品加热磁力样品传递机构样品控温加热电源实时监控低压气动截止阀CF63接管法兰烘烤照明CF35抽除废气口法兰两室照明烘烤电源RF电极
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2022/12/28
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2022/08/10
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6.5万元
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2021/09/26
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