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热蒸发蒸镀系统
"热蒸发蒸镀系统"标讯
招标
华南理工大学电热光子学性质分析、薄膜制备与表征等一批设备采购项目公开招标公告
金额
2367万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/11/26
招标产品
台阶仪
赛贝克电阻表征仪
热导系数测试表征仪
热蒸发蒸镀系统
桌面探针式轮廓仪
规范编制
工程
太阳能电池测试仪
整体设计
项目管理
电热光子学性质分析
薄膜制备与表征
超快激子扩散四维成像显微镜
招标公司
华南理工大学
招标
货物华南理工大学电热光子学性质分析、薄膜制备与表征等一批设备采购项目公开招标公告
金额
1120万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/11/26
招标产品
电阻
台阶仪
热导系数测试表征仪
热蒸发蒸镀系统
规范编制
太阳能电池测试仪
电热光子学性质分析
超快激子扩散四维成像显微镜
招标公司
华南理工大学
中标
中国科学院上海硅酸盐研究所特种磁控溅射镀膜系统国际招标中标公告
金额
447.06万元
项目地址
上海市
发布时间
2022/07/12
招标产品
程序控制系统
系统预设电池组3秒内安全关闭阀门
自动保护
自动匹配网络
过滤器
冷却水
机电产品
膜厚控制
膜厚监控系统
低温泵安全互锁机制
溅射电源
安装
全量程真空检测系统
靶枪电源
双晶振探头
采用1000位下游压力控制阀
压缩空气
功能测试
验收
特种磁控溅射镀膜系统
氮气罐
热蒸发源
调试
工艺气体
气冷多级罗茨泵
对流真空计
冷阴极规
晶振头
全量程真空计
科学研究
带独立蒸发样品台
气体控制系统
总电源
氩气
输出电缆
操作培训
晶振片
配套带减压阀
电子束蒸发源
晶振传感器
强磁靶枪
校准探头
超高真空反应腔体
磁控溅射镀膜真空腔体
工艺控制
射频电源
气路控制
PID闭环自动压力控制
电子束蒸发及热蒸发蒸镀系统
真空系统
气动隔离阀
招标公司
中国科学院上海硅酸盐研究所
中标公司
重庆跳望科技有限公司
共2家
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