金额
45.99万元
项目地址
陕西省
发布时间
2024/12/27
招标产品
压强
自动清洗
机械泵
风冷
真空产生系统
冷却水
原子层沉积系统
反应腔配备自动充气及过压保护功能
高稳定性PLC控制系统
配方编辑
触摸屏
多种沉积模式
反应腔系统
软件终身免费升级
MFC
ALD阀门
臭氧破坏器
加热
臭氧发生器
自动排空
真空测量
设备主机
氧化铝
沉积过程
管线
真空泵
保存
前驱体输送系统
温度
流量
8英寸晶圆上沉积50NM薄膜
实时监控
载气管路
管路及接头
臭氧源
真空系统
读取
招标公司
中标公司
金额
45.99万元
项目地址
陕西省
发布时间
2024/12/27
招标产品
压强
自动清洗
机械泵
风冷
真空产生系统
冷却水
原子层沉积系统
反应腔配备自动充气及过压保护功能
高稳定性PLC控制系统
配方编辑
触摸屏
多种沉积模式
反应腔系统
软件终身免费升级
MFC
ALD阀门
臭氧破坏器
加热
臭氧发生器
自动排空
真空测量
设备主机
氧化铝
沉积过程
管线
真空泵
保存
前驱体输送系统
温度
流量
8英寸晶圆上沉积50NM薄膜
实时监控
载气管路
管路及接头
臭氧源
真空系统
读取
招标公司
中标公司
金额
45.99万元
项目地址
陕西省
发布时间
2024/12/26
招标产品
压强
自动清洗
机械泵
风冷
真空产生系统
冷却水
原子层沉积系统
高稳定性PLC控制系统
配方编辑
反应腔系统
软件终身免费升级
MFC
ALD阀门
臭氧破坏器
加热
臭氧发生器
自动排空
真空测量
设备主机
氧化铝
沉积过程
管线
真空泵
保存
前驱体输送系统
温度
流量
8英寸晶圆上沉积50NM薄膜
实时监控
臭氧源
真空系统
读取
招标公司
中标公司
招标
金额
35万元
项目地址
重庆市
发布时间
2024/12/05
招标产品
多用户权限分配
硅晶圆
外热式单腔腔室
自动控制软件
VCR密封
氧化锡
不锈钢源瓶
机械泵
含两路载气系统
原子层沉积系统
吹扫流量计
残余前驱体源处理热阱
手动隔膜阀
外热式反应腔体
自动控制沉积系统
高性能真空系统
在线清洗功能
前驱体源系统
4U工控机
压力传感器
水源
2路金属源
可视化的操作界面
氧化铝
手动球阀
配置SWAGELOK高温快速ALD阀
真空泵
真空计
全套管路
自动控制系统
工艺压力实时检测显示
吹扫质量流量计
高精度PLC
招标公司
金额
35万元
项目地址
重庆市
发布时间
2024/12/05
招标产品
多用户权限分配
硅晶圆
外热式单腔腔室
自动控制软件
VCR密封
氧化锡
不锈钢源瓶
机械泵
含两路载气系统
原子层沉积系统
吹扫流量计
残余前驱体源处理热阱
手动隔膜阀
外热式反应腔体
自动控制沉积系统
高性能真空系统
在线清洗功能
前驱体源系统
4U工控机
压力传感器
水源
2路金属源
可视化的操作界面
氧化铝
手动球阀
配置SWAGELOK高温快速ALD阀
真空泵
真空计
全套管路
自动控制系统
工艺压力实时检测显示
吹扫质量流量计
高精度PLC
招标公司
金额
19.8万元
项目地址
安徽省
发布时间
2024/12/04
招标产品
进排气连接口
不锈钢接头
钢瓶容器
气动接头
柔性加热装置
直角阀加热套
完全贴合管路定制配套
一分六管路加热套
载气辅助装置
不锈钢隔膜
外螺纹
ALD阀门
流量计
料瓶
完全包覆直角阀
使用专用设备阀门
面密封
四通加热套
加热器
带爪垫片
可定制接口
固态源不锈钢瓶
加热棒
三孔阀门
金属垫片
真空泵
载气通入源瓶
密封接头
隔膜密封阀
一分六进气管路
固源手动阀
固源钢瓶
招标公司
金额
1.6万元
项目地址
安徽省
发布时间
2024/11/28
招标产品
进排气连接口
不锈钢接头
钢瓶容器
气动接头
柔性加热装置
直角阀加热套
完全贴合管路定制配套
一分六管路加热套
载气辅助装置
不锈钢隔膜
外螺纹
ALD阀门
流量计
料瓶
完全包覆直角阀
使用专用设备阀门
面密封
四通加热套
加热器
带爪垫片
可定制接口
固态源不锈钢瓶
加热棒
三孔阀门
金属垫片
真空泵
载气通入源瓶
密封接头
隔膜密封阀
一分六进气管路
固源手动阀
固源钢瓶
招标公司
金额
39.5万元
项目地址
四川省
发布时间
2024/10/14
招标产品
全套SWAGELOK管路
真空化学气相反应系统
可拆卸内反应腔
腔室
配置SWAGELOK高温快速ALD阀
多层热反射装置
不锈钢源瓶
真空加热腔
在线清洗功能
两路载气系统
水冷循环装置
手动阀
压差自压合机构
常温源
配置SWAGELOK快速ALD阀
前驱体源
招标公司
金额
40万元
项目地址
福建省
发布时间
2024/05/14
招标产品
氧化管路
源瓶加热器
抽屉式样品装载
气体质量流量计
腔体衬板
真空应用设备
真空规
粉末样品处理装置
桌面式原子层沉积系统
一体式工控机
真空泵
一条清扫气线
多组毫秒级ALD阀门
飞越油泵
前驱体源
腔体采用真空腔体
招标公司
金额
45万元
项目地址
广东省
发布时间
2024/01/18
招标产品
配备油泵
真空泵抽速
氮气
基本维护
泵后端油雾过滤器
臭氧发生器
配备1个精确的载气流量控制
多工艺菜单存储功能
操作
小型原子层沉积镀膜设备
数据处理
源瓶加热器
保护真空泵
ALD泵前级过滤器
配备薄膜真空规
腔体内衬板
系统监视器
多组毫秒级ALD阀门
氩气
气体质量流量计
安全控制
一体式工控机
电气和气动控制异常报警系统
ALD阀组
招标公司
中标公司
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2024/01/08
招标产品
配备油泵
真空泵抽速
氮气
基本维护
泵后端油雾过滤器
臭氧发生器
配备1个精确的载气流量控制
多工艺菜单存储功能
小型原子层沉积镀膜设备
数据处理
源瓶加热器
保护真空泵
ALD泵前级过滤器
配备薄膜真空规
腔体内衬板
系统监视器
多组毫秒级ALD阀门
氩气
气体质量流量计
安全控制
一体式工控机
电气和气动控制异常报警系统
ALD阀组
招标公司
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2024/01/08
招标产品
数据处理
源瓶加热器
气体质量流量计
臭氧发生器系统模块
保护真空泵
ALD泵前级过滤器
操作
基本维护
配备薄膜真空规
真空泵抽速
腔体内衬板
一体式工控机
系统监视器
分析数据
多组毫秒级ALD阀门
ALD阀组
氩气/氮气
报警及安全控制
小型原子层沉积镀膜设备
招标公司
项目地址
广东省
发布时间
2024/01/02
招标产品
数据处理
源瓶加热器
气体质量流量计
臭氧发生器系统模块
保护真空泵
ALD泵前级过滤器
操作
基本维护
配备薄膜真空规
真空泵抽速
腔体内衬板
一体式工控机
系统监视器
分析数据
多组毫秒级ALD阀门
ALD阀组
氩气/氮气
报警及安全控制
小型原子层沉积镀膜设备
招标公司
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/12/25
招标产品
torr电容薄膜
镀膜设备
氮气
清扫气线
进样室
抽屉式样品装载样品
ALD阀门
泵后端油雾过滤器
臭氧发生器
报警及安全控制
多工艺菜单存储功能
前驱体源
源瓶加热器
保护真空泵
真空规
ALD泵前级过滤器
腔体内衬板
油泵
氩气
气体质量流量计
一体式工控机
招标公司
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/12/22
招标产品
镀膜设备
前驱体源
一条清扫气线
源瓶加热器
进样室采用抽屉式样品装载样品
多组毫秒级ALD阀门
ALD阀组
气体质量流量计
氩/氮气
薄膜真空规
保护真空泵
含泵前段返油过滤器
泵后端油雾过滤器
腔体衬板
ALD泵前级过滤器
一体式工控机
招标公司
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/12/21
招标产品
进样室采用抽屉式样品装载样品
源瓶加热器
气体质量流量计
腔体衬板
保护真空泵
ALD泵前级过滤器
氩/氮气
一体式工控机
泵后端油雾过滤器
一条清扫气线
镀膜设备
多组毫秒级ALD阀门
ALD阀组
薄膜真空规
含泵前段返油过滤器
前驱体源
招标公司
金额
47万元
发布时间
2023/12/08
招标产品
含泵前段返油过滤器
源瓶加热器
气体质量流量计
腔体衬板
ALD泵前级过滤器
torr电容薄膜
一体式工控机
真空泵
进样室采用抽屉式装载样品
一条清扫气线
ALD阀组
薄膜真空规
托盘
成膜
前驱体源
原子层气相沉积系统
中标公司
金额
19.8万元
发布时间
2023/11/24
招标产品
载气辅助源
机械泵
腔体密封圈
前驱体输送管路
备用配件
反应腔系统
加热源管路
真空测量
惰性气体自清洗系统
氧化铝薄膜
售后服务与质保
原子层沉积设备
前驱体标签修改
三甲基铝+水
备品备件
真空泵
控制系统
垫片
源手动阀
所有管线
前驱体输送系统
真空抽气管道
所有ALD阀门
常温液源管路
热阱
载气管路
管路及接头
操作说明书
真空系统
服务电话及培训
载气脉冲ALD阀门
金额
47万元
发布时间
2023/10/24
招标产品
原子层气相沉积系统
成膜
前驱体源
源瓶加热器
进样室采用抽屉式装载样品
ALD阀组
气体质量流量计
薄膜真空规
torr电容薄膜
真空泵
含泵前段返油过滤器
腔体衬板
ALD泵前级过滤器
一体式工控机
托盘
中标公司
解决方案
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